GFPURE是全球为数不多的能够推出硼去除CEDI的公司之一,主要针对高端半导体行业应用,采用离子膜和树脂封装技术的有针对性设计,硅和硼泄漏控制在优秀水平,可以替代传统的普通混床和普通CEDI,大大提高了精加工系统的使用寿命,降低系统运营成本。它是GFPURE UPW系列CEDI产品的升级,也融入了GFPURE的专利技术。

UPW-B半导体级硼去除CEDI模块

阳极采用铂涂层设计,寿命≥10年

UPW-B系列特点

专为硅和硼去除而设计的离子交换膜

二次胶注入双O形圈密封技术,防止泄漏

采用优秀的单室交换率的专利阶梯式供水技术

参数

直流电压(V,DC)

0-500

钠离子(Na+)去除率

硅(SiO2)去除率

(包括CO2和Si)

建议进水PH

产品电阻率(MΩ.cm)

流量(L/H)

>99%

>99%

<10us/cm

7.5-9.0

≥ 17

最大:5000L

>99%

氯化物(CL-)去除率

极性水流量(L/H)

回收率(%)

操作温度(°F)

TOC去除率

硼去除率

直流电流(A,DC)

90-95

41-113

>95%

>99%

1.0-6.0

80-120L

最小:1000L

进水当量电导率

二次RO产水

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